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中空型精密XY運動定位平台
中空型精密XY運動定位平台 簡介: 1.線性馬達驅動 2.光學尺回授 3.精度: ±3μm 4.直線
中空型精密XY運動定位平台
簡介:
1.線性馬達驅動
2.光學尺回授
3.精度: ±3μm
4.直線度: ±2μm
5.中空型工作台適用於AOI量測。
6.使用雷射干涉儀校正及進行精度補正。
應用: 檢測平台、機械手臂校正、AOI量測應用
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