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陶瓷氣浮導軌

氣浮式線性馬達運動平台簡介:具有XY之定位運動,其架構為H型型式,XY移動於同一平面上,可降低平台高度減少阿貝誤差,導軌

陶瓷氣浮
陶瓷氣浮

氣浮式線性馬達運動平台
簡介:

具有XY之定位運動,其架構為H型型式,XY移動於同一平面上,可降低平台高度減少阿貝誤差,

導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌,其氣浮穩定性較佳,驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺,

此平台運動結構摩擦力小,具有快速移動,精度高,整定時間快等優勢。
 

應用:曝光機載台,影像量測載台

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