行程:800mm
精度:5u
環境濕度 Humidity：50%
溫度 Temperature：20±1℃
壓力 using air pressure： 4kg/cm2
平台平面度 5μm 以下
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品質優良、交貨迅速，且接受小額訂單及接受原廠委託設計製造之ODM、OEM。
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